矢量水听器在海洋探测、反潜等领域发挥着重要的作用，但是远距离探测中矢量水听器拖曳阵尺寸增大问题严重，而MEMS技术的发展为矢量水听器的低频小型化、高性能的发展需求提供了新的解决方法，基于此，本文提出一种新型的MEMS矢量水听器——基于ZnO压电薄膜的MEMS压电矢量水听器。　　本文中提出两种结构的MEMS压电矢量水听器:悬臂梁式结构和双臂桥式结构，它们是由复合梁和一个惯性质量块组成，其中复合梁是由氧化锌薄膜和硅梁组成。文中对其基础元件MEMS压电加速度计进行了近似解析分析，得到了结构参数对其灵敏度和谐振频率的影响。发现当硅梁厚度固定时，压电层与硅梁的厚度比为0.56时，其灵敏度最高;并且复合梁的刚度和质量块质量的选择就灵敏度和谐振频率（通带）而言是矛盾的，因此需要进行优化选择。我们对其进行了有限元分析，给出了复合梁上的应力分布，进而计算了相应的灵敏度和谐振频率，所得结果与近似解析结果一致。　　为了进一步提高氧化锌薄膜的压电系数，在工艺上对掺钒氧化锌薄膜进行了研究，得出掺杂浓度在2％左右时，氧化锌薄膜的C轴择优取向性最好。　　我们对MEMS压电加速度计进行了工艺设计和制备，成功制备出了两种结构的加速度计。封装后成品外形尺寸为:12×9.5×4mm。分别进行了性能测试，悬臂梁式加速度计灵敏度相对较高，在20-1000Hz内灵敏度响应平坦，电压灵敏度约为0.83mV/ms-2，与国际水平相当。由此给出在1kHz处对应矢量水听器的等效声压灵敏度应为-228.5dB(ref.1V/μPa)，且横向干扰小，比压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度约高20dB。