【摘 要】
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InP/InGaAs 单行载流子光电二极管(UTC-PD)是一种高速、高饱和输出的新型光电探测器,其结构特点是由p 型中性光吸收层和n 型宽带隙集结层构成,并且只用电子作为有源载流子。U
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InP/InGaAs 单行载流子光电二极管(UTC-PD)是一种高速、高饱和输出的新型光电探测器,其结构特点是由p 型中性光吸收层和n 型宽带隙集结层构成,并且只用电子作为有源载流子。UTC-PD 和光放大器组成的光接收机,其性能优于传统的光电二极管和后置电放大器组成的光接收机,从而可以省去电放大器,扩展了带宽的同时还简化了接收机的结构。在现有的实验条件下,我们在国内首次提出了UTC-PD 的研究课题。在这一年多的时间中,我们主要围绕着UTC-PD 的研究展开了以下三方面工作:1. 在了解国外UTC-PD 发展动态和理论分析的基础上,设计了器件结构。其设计内容主要包括外延材料的选择与生长、外延层结构的设计、光耦合的设计及器件的封装。2. 通过大量的实验研究,确定了研制UTC-PD 的工艺流程,并对影响器件性能的关键工艺进行详细地研究。比如,光刻工艺、选择性湿化学台面腐蚀工艺、SiO2/SiNx 钝化工艺等。3. 对研制的UTC-PD 样品的主要性能参数进行测试。在4V 反向偏压下,实验测得暗电流为160pA、饱和光电流为22.84mA 及15.13GHz 的3dB 带宽。
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