【摘 要】
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化学镀铜技术已获得广泛的应用。迄今为止,化学镀铜过程大多采用甲醛作为还原剂,而甲醛是对人体和环境有害的物质,必须被其他还原剂所取代。况且,甲醛化学镀铜技术仍存在某些问题,如铜沉积速率较低,难以满足镀厚铜的需要;镀液稳定性不够;镀层因夹杂着Cu_2O等杂质而使其物理性质变差。本文以乙醛酸取代甲醛作为化学镀铜的还原剂,进行以下几方面的研究:(1)工艺参数对乙醛酸化学镀铜的沉积速率以及对镀层结构性能的影
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化学镀铜技术已获得广泛的应用。迄今为止,化学镀铜过程大多采用甲醛作为还原剂,而甲醛是对人体和环境有害的物质,必须被其他还原剂所取代。况且,甲醛化学镀铜技术仍存在某些问题,如铜沉积速率较低,难以满足镀厚铜的需要;镀液稳定性不够;镀层因夹杂着Cu_2O等杂质而使其物理性质变差。本文以乙醛酸取代甲醛作为化学镀铜的还原剂,进行以下几方面的研究:(1)工艺参数对乙醛酸化学镀铜的沉积速率以及对镀层结构性能的影响。着重研究溶液pH值和反应温度对铜沉积速率、镀液稳定性和镀层形貌与结构的影响,以及添加剂2,
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