基于马赫-曾德尔与迈克尔逊结构的光纤相对湿度传感器研究

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在人类活动的各领域中,湿度是人们关注的一个重要物理参量,有效地获取环境湿度信息对生产生活过程具有重要的指导意义。光纤湿度传感器具有抗电磁干扰,灵敏度高,性价比高,稳定性及复用性好等特点,不仅可以在日常生产生活中代替传统湿度传感器,而且能够满足在易燃易爆、强电磁干扰等恶劣环境中人们对湿度测量的需求。为了进一步探索光纤湿度传感器的湿度传感性能,本文研究了两种干涉结构的光纤湿度传感器,并对其湿度测量性能进行了详细的研究。文中主要的研究内容和取得的研究结果如下:(1)基于聚酰亚胺湿敏材料制作了一种全单模光纤马赫-曾德尔相对湿度传感器,并进行了实验测量。结果表明,当传感光纤长度分别为2.5 cm、3 cm和3.5 cm时,传感器的湿度响应灵敏度分别为-0.12458 d B/%RH、-0.20216 d B/%RH和-0.15201d B/%RH。其中传感光纤长度为3 cm的温度灵敏度为0.0577 nm/~oC。该传感器具有制作简单、成本低、相对湿度灵敏度高、同时测量相对湿度和温度等优点,在相对湿度测量领域具有广阔的应用前景。(2)提出了一种基于迈克尔逊干涉仪的具有聚酰亚胺湿敏涂层的光纤相对湿度传感器并进行了实验测量。结果显示,在35%-85%RH范围内,传感器对相对湿度变化表现为线性响应,采用波长及强度解调时的灵敏度分别为0.0983nm/%RH与-0.09027 d B/%RH。在25-55 ~oC的温度变化范围内传感器的温度响应灵敏度为0.0417 nm/~oC。(3)通过在同一种迈克尔逊传感结构上分别使用聚酰亚胺与海藻酸钙湿敏材料,并对传感器的湿度特性进行实验对比。实验结果表明,当使用海藻酸钙湿敏材料时,传感器具有更好的湿度响应能力。传感器的湿度响应特性表明海藻酸钙水凝胶可以作为光纤湿度传感器的增敏材料。这种传感器还具有易于制造、稳定性良好的优点。
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