微磨料气射流加工技术是微细加工中的一种新技术，该技术以其具有环境友好，易于控制，无热影响区，切口质量好等优点成为硬脆材料微细加工的重要基础技术。国内在微磨料气射流加工技术的应用方面，包括加工装置的研制与微磨料气射流加工机理的研究还处在初始起步阶段。 本文以微磨料气射流加工技术为研究方向，进行了微磨料气射流加工机的总体设计，确定了该装置的系统构成主要包括喷砂射流系统x、y 扫描数控工作台部件、喷砂头调整部件、工作台部件、机器支撑部件、机器控制系统、其他辅助系统或部件。使用UG软件对典型功能部件进行了设计。 分析了国内外学者在冲蚀机理领域的经典论述及在此基础上提出的切割深度预测模型，模型揭示了磨料射流流量、磨料流的速度、射流进给速度和磨料流半径和切割深度之间的关系，为下一步的实验研究提供了理论基础。 根据微磨料气射流加工技术的基本原理，构建实验平台，以玻璃为工件材料，白刚玉为射流磨料，对其加工机理进行了实验研究，得到大量实验数据。经过对实验数据的分析，获得喷射压力、喷射流量、喷射时间、喷射距离、磨料粒度等因素对加工效果影响的一般规律，总结出微磨料气射流金属掩膜加工在一定工作条件下的加工特点与规律，以及在掩膜加工过程中应注意的问题，并获得了典型加工样件。 本课题的研究，为微磨料气射流加工技术的应用做了一些基础性的工作，研究成果对微磨料气射流技术的产业化进程，尤其是国内市场，具有重要意义。