【摘 要】
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该文讨论了在微电路生产实施统计过程控制(SPC)的两个重要问题:工艺参数自动采集和工艺受控状态定量分析.论文将参数自动采集的软件体系分成"测试配置驱动"、"测试驱动"、"数
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该文讨论了在微电路生产实施统计过程控制(SPC)的两个重要问题:工艺参数自动采集和工艺受控状态定量分析.论文将参数自动采集的软件体系分成"测试配置驱动"、"测试驱动"、"数据库"三大部分,分别介绍了各自在实现中采用的相关技术和理论.重点论述了参数自动采集系统的核心--数据处理过程、功能的扩充--自定义测试方式、安全的保证--实时错误处理.接下来,论文提出了一种应用在工艺参数受控状态定量分析有关规则判断的简单算法.该算法通过对规则进行分类,针对每一类的特点,采用相适应的标记方法,找出各规则的判断关键点.再对各规则的判断关键点进行处理判断,从而达到规则判断的目的.算法实现简单、判断准确、易于规则的扩展.
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