传统自适应光学利用大镜面的形变等方法来实时校正因大气扰动等原因所引起的波前畸变，从而获得清晰成像。但由于单元变形镜面大，控制复杂，额外增加系统的体积、重量和功耗，已无法满足现代航空航天领域中小型化的要求。微光学自适应系统是微结构光学与传统光学融合的新型微光学系统，以最小的体积与轻巧的结构，实时校正波前及相差，实现复杂环境下清晰成像。随着微光机电技术的发展，单元尺寸为微米级的微变形镜阵列的制作已成为可能。将它们应用于气动光学校正中，则可实现系统的轻小型化及低功耗，且成本低，适合批量生产。本文提出了一种基于微光机电技术的可调焦微光学自适应微反射镜。可调焦微反射镜基于“双金属效应”，利用热应力改变镜面曲率，从而形成变焦。与传统自适应微反射镜相比，采用该原理制作的可调焦微反射镜具有驱动电压低和驱动力较大的优点，而且制作简单。以硅为基底进行了表面热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀，蒸镀铝膜等微加工工艺的研究。获得硅铝双金属可调焦微反射镜4×4阵列，单元尺寸3×3mm~2，单晶硅基底厚60μm，硅表面溅射的铝膜厚150nm。该微镜的镜面填充率为100％，可变形镜面占总镜面面积的79％。利用激光波面干涉仪对可调焦微反射镜的动态性能进行了测试。实验表明，该微镜可产生单向连续变形，最大变形量15.8μm，非线性滞后27％，工作电压0～2.5V，可调焦范围∞～0.036m。