【摘 要】
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近年来，在物联网、5G、AI等创新技术的推动下，半导体在各行业的应用不断扩展。半导体芯片作为信息技术产业的基石，对信息安全、国民经济起着至关重要的作用。从2015年至今，中国一直稳居全球最大半导体消费市场，而自给率却只能达到12%，这严重制约了我国信息产业的发展。实现半导体制造需要半导体加工系统与物料运输系统的高度合作，以确保生产计划的执行。因此，自动化物料运输系统成为当今半导体加工中必不可少的一部分。
本文研究了半导体生产车间内，AGV(Automated Guided Vehicle)作为搬
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近年来，在物联网、5G、AI等创新技术的推动下，半导体在各行业的应用不断扩展。半导体芯片作为信息技术产业的基石，对信息安全、国民经济起着至关重要的作用。从2015年至今，中国一直稳居全球最大半导体消费市场，而自给率却只能达到12%，这严重制约了我国信息产业的发展。实现半导体制造需要半导体加工系统与物料运输系统的高度合作，以确保生产计划的执行。因此，自动化物料运输系统成为当今半导体加工中必不可少的一部分。
本文研究了半导体生产车间内，AGV(Automated Guided Vehicle)作为搬运工具的自动化物料运输系统中智能AGV调度问题及其路径规划。本文主要研究了AGV的路径规划问题及AGV间的碰撞避免问题，并针对这两个问题提升了两阶段优化算法。首先，采用数学建模法和基于任务紧急程度的任务分配方法对AGV分配所有物料搬运任务，并基于AGV行走规则得到所有AGV的初始路径；然后，检测碰撞节点调整AGV行走路径，采用碰撞避免策略得到全局无碰的AGV调度方案。再者，结合真实半导体生产车间实验场景，构建了不同生产规模下生产车间的布局和物料搬运任务，通过算例证明了算法的高效性和稳定性。最后，基于运作效率与成本投入的考虑对半导体生产车间中AGV数量对系统任务完成时间的影响做敏感性分析，通过结果分析对车间中AGV的适配数量给出建议。
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