超精密加工技术在现代工业中占有重要地位,决定超精密加工技术的关键是超精密机床,而超精密机床的核心部件是导轨。液体静压导轨运动具有高刚度、高精度、低磨损、长寿命、减震吸振效果好等优点,因此运用广泛。本文以广东省微纳加工技术与装备重点实验室自主研发的NMM500五轴机床液体静压导轨为研究对象,主要从以下几方面的内容进行了研究：(1)对各种类型的液体静压导轨进行了详细的分析和综合的比较。对NMM500五轴机床液体静压导轨进行了三维建模设计,并对导轨的各参数进行了计算。介绍了液体静压导轨的供油系统及毛细管节流器的设计。(2)对液体静压导轨进行了螺栓预紧力仿真分析,得出了导轨变形曲线。分析了实际导轨面的直线度,建立了导轨运动的简化模型。并根据油膜承载的相关理论建立数学模型,计算出了液体静压导轨运动的直线度误差。(3)介绍了液体静压导轨的热处理、表面刮研处理、安装与修正。对液体静压导轨表面和液体静压导轨运动的直线度误差进行了检测。重点阐述了实验结果数据的处理及结果的表达。(4)设计了可靠性试验,分析了液体静压导轨在不同环境参数下工作的可靠度。并进一步设计正交试验,分析各环境条件综合作用对液体静压导轨直线运动的影响,并找出了最大影响因子。