基于SOI的环形谐振腔生物传感器研究

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回顾改革开放近四十年,中国以前所未有的速度进行着工业化和城市化,所取得的成就举世瞩目。但是随之而来的问题也很多:环境污染、食品安全以及新型疾病等。为了应对这些问题,发展快速高效低成本的生物传感器已经是刻不容缓了。基于SOI的光波导生物传感器以其卓越的优点在这些领域,有着非常广阔的应用前景。本文主要研究基于环形谐振腔的传感器,对其性能进行了优化,采用分子印迹的方法实现对生物大分子的检测。  本文首先对环形谐振腔的材料平台、基本原理以及性能参数进行了介绍。对基于游标效应的双环谐振腔传感器的原理和性能进行了分析。  接着详细的介绍了环形谐振腔传感器的制作工艺和设备,并完成环形谐振腔与微流通道和阵列光纤的集成与封装。  然后对环形谐振腔的基本性能参数进行了优化,包括测试范围和品质因子。采用三个环形谐振腔的结构设计,在级联双环谐振腔传感器的基础上把测试范围扩大了26倍。增加环形谐振腔波导的宽度,提高环形谐振腔的品质,最高达到了6×10^5。  最后利用分子印迹的方法在级联双环谐振腔上实现了对睾酮分子的动态检测。
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