激光微加工属于比较前沿的精细加工。激光光源、数控控制系统等不断发展的新技术为激光微加工设备的开发创造了条件。为满足重要机械零部件表面功能化微结构的多样性加工要求，开展多功能模块化激光微加工设备的研究具有重要的理论意义与工程应用价值。　　本文以研制一台多功能模块化激光表面加工处理设备为研究目标，设备配备大小纳秒、紫外激光器以及光纤激光器四种激光光源，用以实现激光融覆、激光毛化、激光微织构、激光淬火、激光焊接和激光切割等多种功能。课题研究主要进行了以下几个方面的工作：对多功能模块化激光微加工原理和方法进行了分析，确定了多功能模块化激光微加工设备系统的组成；根据多功能和模块化的要求，研究了激光系统、加工光学系统、机械系统及控制系统等激光微造型加工设备的主要组成部分，对涉及的光路转换、激光Q开关控制、软硬件控制等关键技术问题进行了研究；对设备完成了调试，解决了“同点间隔多次”等工艺难点；利用研制的激光微加工设备，进行了相关工艺试验，验证了设计要求。