【摘 要】
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该文介绍了一种能够实现现场快速而有效地检验非球面的干涉仪.在研究了浙江大学的SPG-Ⅱ型激光数字波面干涉仪的基础上,进行了其改进型——剪切移相激光数字波面干涉仪的研制
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该文介绍了一种能够实现现场快速而有效地检验非球面的干涉仪.在研究了浙江大学的SPG-Ⅱ型激光数字波面干涉仪的基础上,进行了其改进型——剪切移相激光数字波面干涉仪的研制.该干涉仪实质是利用单轴晶体平板实现剪切的横向剪切干涉仪.它具有共路干涉仪和剪切干涉仪的优点,有很好的抗干扰性和稳定性.旋转剪切平板就可以达到剪切量连续可调的目的,易于控制条纹的疏密程度.干涉场的检测采用偏振移相的方法,即旋转检偏器,采集多幅相位变化了的干涉图,从中处理出被测波面的相位分布.偏振移相能够有效地消除干涉场中的固定噪声和面阵探测器的不一致性影响.整个干涉测量系统集光机电算于一体,由剪切移相干涉仪、移相驱动系统、剪切干涉图的采集和处理系统组成.重点介绍了该干涉仪的工作原理,干涉条纹的分析和处理,偏振移相的具体实现以及干涉仪的误差消除方法.该干涉仪的研制对高精度检验与球面相差较大的非球面具有很大的意义.
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