熔石英是光电子、微电子、光学以及光纤技术等行业的重要光学元件。在先进的功能性光电器件,如激光陀螺仪、软X射线仪、自由电子激光器以及激光聚变系统中,都对具有超光滑光学表面的熔石英元件有着迫切的需求。熔石英光学元件的制备流程包括研磨,抛光,以及其他的光学处理过程,其中最重要的便是超光滑抛光工艺。传统的超光滑抛光技术如浴法抛光、浮法抛光、等离子体抛光、微流体喷射抛光等仍然具有一定的局限性,如表面划痕、微缺陷等,且加工效率较低、操作难度大。激光抛光作为一种新型的超光滑抛光工艺,由于其具有非接触性、高灵活性、高效性以及局部修复等优点,近年来已经在金属、陶瓷等材料的表面处理和裂纹控制上得到了广泛的应用。本文通过理论仿真结合实验的方法,研究连续CO₂激光器对熔石英元件表面进行抛光的工艺。分析了激光功率、激光束半径、激光扫描速度以及熔石英元件的初始表面粗糙度等参数对激光抛光效果的影响。主要研究内容包括以下几点:（1）激光抛光过程中温度场的研究。利用有限元软件COMSOL对激光与熔石英材料相互作用时的温度场进行了定点类型和扫描类型的仿真,得到了不同工艺参数,如激光功率、激光束半径、扫描速度、扫描间距、相互作用时间等作用下的温度场分布。总结出各个参数变化对温度场分布的影响规律,激光作用点处最高温度与激光功率、相互作用时间成正比关系,与激光束半径扫描速度成反比关系。（2）激光抛光过程中表面微流动现象的研究。利用COMSOL建立了传热与流体力学耦合的多物理场模型,模拟了激光照射于熔石英表面时材料相变,产生流动行为的过程。发现表面张力是激光抛光的关键因素,它避免了马拉高尼效应作用下熔池边界的物质堆积,而马拉高尼效应则有效的消除了熔池中间部分的凸起。此外,通过设定不同的模型参数（激光功率、表面轮廓形状、表面轮廓振幅、表面轮廓频率、激光能量分布形式（Gaussian型、Flat-top型））分析得到了各参数变化对抛光表面粗糙度的影响规律。（3）使用连续CO₂激光器进行了熔石英表面激光抛光的实验研究。针对激光功率、激光扫描速度对抛光效果的影响,进行了单因素实验。实验研究获得了激光斑为短轴2mm长轴3mm的椭圆时的最佳参数组合。在激光功率为28W,扫描速度为0.1mm/s的参数组合下,成功地将150nm粗糙度的金刚石砂轮磨削初始表面抛光到了1.5nm粗糙度。