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四氟化碳(CF4)是现代工业生产过程中排放的气态污染物质，由于CF4在大气中具有较长的存在年限和强烈的红外吸收能力，因而直接排放到大气中将引起强烈的温室效应。微波等离子体处理CF4技术是二十世纪九十年代发展起来的新工艺。文中采用大气压下微波等离子体与催化剂协同作用分解CF4，其特点是催化剂的引入既可以提高CF4的去除率和能量利用效率，又可以减少副产物NOx生成。是一项很具有实用前景的环境友好型技术。本研究主要探讨利用大气压微波等离子体分别与催化剂Al2O3、Ag/Al2O3、MnO2/Al2O3和MnO2/2wt％Ag/Al2O3联合作用分解CF4，考察对副产物NOx的影响。研究发现：
(1)催化剂Al2O3引入对副产物NOx没有明显影响，尾气中NOx浓度保持在100ml/m3。催化剂Ag/Al2O3、MnO2/Al2O3、MnO2/2wt％Ag/Al2O3引入对副产物NOx均有明显作用，催化剂组分为2wt％Ag/Al2O3时，NOx去除率为90％；催化剂组分为2wt％MnO2/Al2O3时，NOx去除率为89％；催化剂组分为2wt％/MnO2/2wt％Ag/Al2O3时，NOx去除率为98％。研究发现负载Ag组分的催化剂样品，尾气中NOx碱液吸收效果较好；而负载MnO2组分的催化剂样品，尾气中NOx碱液吸收效果不明显。三种催化剂样品通过长时间运行使用催化剂活性没有明显下降。催化剂使用寿命良好。
(2)在研究大气压微波等离子体分别与Ag/Al2O3、MnO2/Al2O3、MnO2/2wt％Ag/Al2O3联合作用分解CF4过程中发现：催化剂Ag/Al2O3随着Ag负载量的增加CF4的去除率下降，银的负载量由0到4％时，CF4的去除率下降了19.5％；MnO2组分的引入对CF4分解有促进作用，催化剂组分为2wt％MnO2/Al2O3时效果最佳，CF4去除率达到98.2％；催化剂组分为2wt％MnO2/2wt％Ag/Al2O3效果最佳，CF4去除率为97.2％。
(3)大气压微波等离子体与催化剂2wt％MnO2/2wt％Ag/Al2O3协同作用分解CF4效果明显，协同作用可使CF4去除率提高21.9％，单独由等离子激发催化分解CF4的贡献值为45.2％。应用大气压微波等离子体与催化剂联合作用分解CF4，最高能量利用效率为2.546g/kWh，添加催化剂使能量效率提高了63.1％。
(1)催化剂Al2O3引入对副产物NOx没有明显影响，尾气中NOx浓度保持在100ml/m3。催化剂Ag/Al2O3、MnO2/Al2O3、MnO2/2wt％Ag/Al2O3引入对副产物NOx均有明显作用，催化剂组分为2wt％Ag/Al2O3时，NOx去除率为90％；催化剂组分为2wt％MnO2/Al2O3时，NOx去除率为89％；催化剂组分为2wt％/MnO2/2wt％Ag/Al2O3时，NOx去除率为98％。研究发现负载Ag组分的催化剂样品，尾气中NOx碱液吸收效果较好；而负载MnO2组分的催化剂样品，尾气中NOx碱液吸收效果不明显。三种催化剂样品通过长时间运行使用催化剂活性没有明显下降。催化剂使用寿命良好。
(2)在研究大气压微波等离子体分别与Ag/Al2O3、MnO2/Al2O3、MnO2/2wt％Ag/Al2O3联合作用分解CF4过程中发现：催化剂Ag/Al2O3随着Ag负载量的增加CF4的去除率下降，银的负载量由0到4％时，CF4的去除率下降了19.5％；MnO2组分的引入对CF4分解有促进作用，催化剂组分为2wt％MnO2/Al2O3时效果最佳，CF4去除率达到98.2％；催化剂组分为2wt％MnO2/2wt％Ag/Al2O3效果最佳，CF4去除率为97.2％。
(3)大气压微波等离子体与催化剂2wt％MnO2/2wt％Ag/Al2O3协同作用分解CF4效果明显，协同作用可使CF4去除率提高21.9％，单独由等离子激发催化分解CF4的贡献值为45.2％。应用大气压微波等离子体与催化剂联合作用分解CF4，最高能量利用效率为2.546g/kWh，添加催化剂使能量效率提高了63.1％。