平面三自由度柔顺精密定位平台的优化设计

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【摘要】

：

随着半导体集成技术,微电子技术等的不断发展,对精密定位技术的要求越来越高。本文对精密定位技术进行了深入研究,设计了一种低输入耦合、大行程的精密定位平台,具有一定的学术价值和实际意义。本课题得到国家自然科学基金(50375051)、教育部科学技术重点项目(104149)、广东省自然科学基金重点项目(036548)等基金的资助。本文对柔性铰链式精密定位平台的结构尺寸进行了优化设计,以较大的

【作者】

：

王华

【机构】

：

汕头大学

【发表日期】

：

2005年01期

【关键词】

：

精密定位优化设计柔性铰链输入耦合有限元

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