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目前,对于小容积气体压力的控制多用传感器的反馈信号来控制执行机构进行动作,这种方法一方面压力控制的精度不高,另一方面容易出现超调和调节超时的现象。当系统在高压超高压的环境下工作时,这种问题会更加严重,针对以上的问题本文对小容腔的高压超高压控压技术进行了研究。首先基于范德瓦尔方程对气体的流动特性进行了分析,建立了容腔的充放气数学模型,并对系统的气路部分进行了设计。本文采取二次增压的方式,压力输出范围为15-180MPa。在第二次增压时采用模糊自适应PID、PWM和PLC组合的控制方式,精确控制气体质量