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基于MEMS的多能域耦合特性，对MEMS执行器进行多场耦合分析，研究MEMS执行器在耦合场（如结构、静电和阻尼的耦合场）中的行为特性，为MEMS执行器的设计和应用提供参考和指导。首先探讨MEMS执行器多场耦合分析的方法，按照原理不同分为基于数学模型，基于宏建模，基于有限元法三种类型，阐述三类方法的原理，应用步骤和特点，为进行MEMS执行器多场耦合分析奠定基础。以静电驱动悬臂梁和静电驱动梳齿作为典型的MEMS执行器进行多场耦合分析。对静电驱动悬臂梁进行力学分析，吸合效应和气体阻尼的