生长在硅油基底表面铁薄膜系统的微结构特性研究

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【摘要】

：

本文采用真空热蒸发方法,在硅油基底表面制备一系列铁薄膜样品,并利用透射电子显微镜(TEM)和分光光度计系统地研究了沉积速率f以及基底温度Ts对于铁薄膜的微结构、结晶性能及光学特性的影响,得到主要结论如下：(1)利用TEM对采用相同沉积厚度(5.0 nm)和基底温度(Ts=-10.0℃)以及不同沉积速率制备的铁薄膜系统的微观结构及结晶性进行了研究。实验结果表明：当沉积速率f=0.01nm/s时,Fe

【作者】

：

黄娜

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2016年06期

【关键词】

：

硅油基底铁薄膜沉积速率基底温度微结构光学特性

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