【摘 要】
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在航空航天、能源勘探、船舶海洋等领域中,高温压力传感器有着广泛的应用,可在高温下为发动机等关键部位检测及优化设计提供技术支持。相比传统压力传感器,光纤法珀腔压力传感器除了具有灵敏度高、结构小巧、使用灵活等优势,还可以执行高温、高压以及复杂电磁环境下的高精度压力测量,并且其信号传输损耗小、传输距离长,符合压力传感器准确性高、稳定性好的基本要求,具有广阔的发展前景。其中耐高温封装技术是实现光纤法珀腔(
【基金项目】
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本研究得到陕西省教育厅重点科学研究计划项基金(编号:20JY028); 本研究得到陕西省自然科学基础研究计划项基金(编号:2021JM-437);
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在航空航天、能源勘探、船舶海洋等领域中,高温压力传感器有着广泛的应用,可在高温下为发动机等关键部位检测及优化设计提供技术支持。相比传统压力传感器,光纤法珀腔压力传感器除了具有灵敏度高、结构小巧、使用灵活等优势,还可以执行高温、高压以及复杂电磁环境下的高精度压力测量,并且其信号传输损耗小、传输距离长,符合压力传感器准确性高、稳定性好的基本要求,具有广阔的发展前景。其中耐高温封装技术是实现光纤法珀腔(F-P)高温压力传感器性能提升与实际应用的关键。本文主要研究光纤法珀腔压力传感器耐高温封装技术,主要解决耐高温封装结构设计、传感器耐压性能和密封性能等问题,通过静态特性测试、高温可靠性测试来验证传感器的可靠性。主要内容包括:1.基于国内外对高温压力传感器的研究,采用光纤准直器隔离式结构进行封装。介绍传感器工作原理和解调技术,为后续传感器封装优化提供理论支撑。对传感器结构进行热传导仿真分析,确定传感器封装结构尺寸和高温准直器工作距离。2.研究准直器设计原理,针对高温准直光束特性需求,通过光学仿真和优化,确定准直器结构参数,再对准直器性能指标测试、高温实验以及耦合效率进行分析,结果表明光纤准直器具有高耦合效率并可高温工作的稳定性能。3.基于高温准直器进行传感器封装测试,通过分析传感器耐压性能影响因素,优化传感器封装,确保压敏膜片与陶瓷管端面无缝贴合,提升传感器耐压测试到4MPa。分析传感器密封性影响因素,对传感器封装采用高温胶涂敷在压敏膜片周围,确保蓝宝石膜片与陶瓷管端面均被高温胶覆盖且无间隙,避免光学部件被污染,实现了传感器密封封装。4.搭建高温静态压力测试平台,在1200℃高温下对光纤法珀腔压力传感器进行变温压力测试,获取传感器在不同温度下的灵敏度、线性度等静态特性指标,并说明温度对传感器初始腔长及灵敏度的影响规律。对传感器可靠性测试结果表明光纤法珀腔高温压力传感器可在1200℃的高温环境下连续稳定工作时间超过1h,并且可以承受频率达2KHz的振动而不致损坏,抗振动特性良好。
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