论文部分内容阅读
本论文针对高质量的InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱激光器的特点和存在的问题,对激光器的结构进行了优化设计,并进行了锑化物的分子束外延(MBE)生长、激光器的制备以及材料的研究。分析了各结构参数对量子阱材料性能的影响。取得了如下结果:从GaSb基材料(InGaAsSb、AlGaAsSb)的基本性质着手,通过二元系和三元系材料参数计算四元系材料的晶格常数、禁带宽度等,着重分析了单层InGaAsSb、AlGaAsSb材料的MBE生长参数及工艺,设计并生长了InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱半导体外延材料。利用X射线双晶衍射和PL谱研究了材料的结构特性和光学特性。通过生长条件的优化并结合理论分析,我们制备了不同波长的GaInAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料,阱厚为1 0nm的In0.173Ga0.827As0.02Sb0.98/Al0.2Ga0.8As0.02Sb0.985个量子阱材料,在X射线双晶衍射曲线中我们观察到了5级卫星峰,在变温(10K-300K)PL实验曲线中,PL谱中样品的半峰宽23meV,室温PL峰发光波长为1.92μm。低温10K的实验曲线的发光波长为1.72μm,PL谱的半峰宽达到5meV。说明我们获得了高质量的多量子阱外延材料。