许多处理有机溶剂的工业过程产生挥发性有机化合物(VOCs)。这些VOCs不仅造成环境污染,而且也造成了经济损失。VOCs去除及回收已成为一个需要处理的重大问题。传统的VOCs去除技术包括吸附、冷凝和吸收,没有一种技术能满足所有需要。膜分离已成为VOCs分离的一种很好的替代或补充技术。针对目前气体分离膜的制备技术难点,本论文研究了等离子体聚合气体分离复合平板膜的制备及用其从氮气中分离挥发性有机物。使用相转化法制备了聚偏氟乙烯平板膜,用等离子体聚合法在基膜上制备了厚度小于100nm的分离层,从而形成复合膜。本研究着重探讨等离子体聚合操作参数和单体种类对气体分离复合膜的VOCs轻烃组分的渗透选择性和VOCs重烃组分回收效果的影响,并对膜的截面厚度,表面形态,化学组成进行了检测。结果表明,随着聚合时间的增加,膜厚增加,硅元素含量增加,硅氧烷的沉积量增加,VOCs轻烃组分渗透率下降,氮气/VOCs轻烃组分的分离比增加,且VOCs重烃组分的回收率增加。三种单体所制备的等离子体聚合膜都遵循这个规律。随着聚合功率的增加,膜表面形态和结构出现了较大的变化,VOCs轻烃组分的渗透率和氮气/VOCs轻烃组分的分离比的波动较大,且VOCs重烃组分的回收率有波动,三种单体所制备的等离子体聚合膜的规律各不相同。得出结论,当聚合单体为八甲基环四硅氧烷(OMCTS)时,VOCs轻烃组分的选择渗透性最好,正丁烷的渗透率为1.02×10~-55 mol/m~2·s·pa,氮气/正丁烷分离比为3.36。当聚合单体为六甲基三硅氧烷(HMTrSO)时,VOCs重烃组分正己烷的正己烷回收率为67.4%。