硅基微波毫米波开关和功率集成电路研究

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近年来,卫星通信、远程雷达传感与成像系统不断发展,而为了实现更高的图像分辨率、更强的检测能力,不得不使其向更高频率加速发展。这样,用于探测隐蔽武器的安全传感器、智能机器人的成像传感器以及玻璃纤维增强聚合物(GFRP)的无损检测等应用也都将从中收益。随着系统不断向低成本、小型化和手持操作性高方向发展,使其需要更高性能、更廉价的毫米波模块支持,这促进了集成电路(IC)产业的发展。相较于传统的砷化镓、磷化铟等工艺,SiGe BiCMOS虽然在线性度和效率上不能和这些III-V族材料相提并论,但其特征频率高
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