新型低插损高稳定性SAWF仿真软件的研制

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SAWF(声表面波滤波器)作为现代军民用电子信号滤波处理的关键元器件,其设计涉及现代超声学、无线电学、晶体科学、微电子学、薄膜科学、专用设备制造学等多学科知识。其精确理论分析是从基本波动方程和实际边界条件出发,求系统场的精确解,过程非常复杂,使器件设计更加繁杂艰辛。为此,本课题研究采用离散数字付氏变换和奇偶分解技术以及积木式组合技术,利用设计程序就可得到制版数据和掩膜版图的仿真软件。使用该软件,通过输入滤波器参数,可模拟出相应的声表面波滤波器掩膜版图。另外,根据设计和实际需求,通过改变设计输入参数,即可获得实际所需的声表面波滤波器光刻版图,极大地降低了设计难度。为得到具有实际指导意义的仿真软件,在建立SPUDT(单相单向换能器)等效电路模型的基础上,先利用我公司所掌握的现有设计软件和数学模型对器件指标进行分析,根据产品的理想曲线推出其全时域上的脉响,重点编制变迹SPUDT、均匀SPUDT、MSC多条耦合器的计算软件,并对软件进行调试;其次借助编制的软件计算得出滤波器的芯片数据,并根据仿真结果,修改和优化计算机仿真程序;最后根据得到的芯片数据进行器件试生产,并根据试生产结果在设计软件上调节优化设计系数,获得具有指导意义的器件设计软件。经多个品种声表面波滤波器设计实际应用证明,本课题低损耗声表面波滤波器仿真软件实用性强,操作十分简单,设计效率高,设计结果与实际误差小,具有仿真软件推广应用价值。
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