【摘 要】
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透明导电氧化物(TCO)薄膜以其高的透光率和低的电阻率,被广泛应用于太阳能电池、平板显示、特殊功能窗口以及其他光电器件领域。其中,氧化铟锡(ITO)是目前应用最广的TCO薄膜,但同时由于其价格昂贵且原材料In有毒,很大程度上限制了ITO薄膜的应用。而氧化锌(ZnO)具有原材料丰富、无毒,易光刻,在氢等离子体中的稳定性较好等优点,不仅具有高的透光率,而且掺杂后的ZnO具有良好的导电性。目前,ZnO已
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透明导电氧化物(TCO)薄膜以其高的透光率和低的电阻率,被广泛应用于太阳能电池、平板显示、特殊功能窗口以及其他光电器件领域。其中,氧化铟锡(ITO)是目前应用最广的TCO薄膜,但同时由于其价格昂贵且原材料In有毒,很大程度上限制了ITO薄膜的应用。而氧化锌(ZnO)具有原材料丰富、无毒,易光刻,在氢等离子体中的稳定性较好等优点,不仅具有高的透光率,而且掺杂后的ZnO具有良好的导电性。目前,ZnO已作为一种替代ITO薄膜的新型TCO薄膜而受到广泛的关注。目前,对铝掺杂氧化锌(ZnO:Al,简称AZO)
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