射频耦合系统在工业和医疗领域有着广泛地应用,其中射频耦合等离子体设备系统是生产大规模集成电路、液晶屏等产品中关键工艺的主流设备,而影响设备系统性能的关键部件就是阻抗匹配器。增强阻抗匹配器的自动调节功能和匹配精度,并保证整个设备系统工作在稳定的状态,是最终保证产品生产质量和效率的重要因素。针对国内无自动阻抗匹配器的现状,具体开展提高自动阻抗匹配器功能及性能的研究开发工作,具有非常现实的社会意义和应用价值。本论文基于已有的自动阻抗匹配系统硬件平台开展研究,主要进行了以下几个方面的工作:1.为基于ARM核心的的自动阻抗匹配器系统的电容调节、反射系数采集、人机接口三大功能模块编写驱动程序。设计了电容位置检测和电机驱动调节程序,实现对电容参数的开环调节以及基于数字PID的闭环调节;完成了反射系数采集模块的模拟、数字滤波器设计和快速采集处理实现;为人机接口设计了基于中断和队列的按键查询和处理机制,实现了彩色LCD显示功能。2.针对梯度下降搜索算法在自动阻抗匹配系统中使用时存在收敛速度慢、易陷入局部最优值点的问题,提出将模拟退火算法运用于该系统中。给出了分析设计过程,并针对实际应用做了局部改进。在实验平台上验证了该算法用于自动匹配搜索的可行性,同时通过实验数据和理论分析进一步优化参数,得到了较好的匹配效果。3.按照用户需求将各个功能模块驱动程序和基于模拟退火的匹配算法程序进行整合,开发了自动阻抗匹配器的自动/手动调节等功能。