检漏仪是真空镀膜机泄漏检测中必备仪器。本文以超声法为依据，提出了一种以DSP为核心的泄漏检测技术。实现了真空系统泄漏检测的自动化。 论文主要完成以下研究工作： 检漏仪系统硬件设计。首先，以R40-10普通型超声波传感器的性能参数为依据，完成信号预处理电路的设计；其次，利用高精度A/D对泄漏超声波信号进行模数转换；然后，利用DSP实现了对泄漏超声信号的采集处理；最后，通过DSP的I/O端口控制液晶显示和报警，对被检系统泄漏情况给与提示，同时提供了通信接口，便于数据的输出分析。 检漏仪系统软件设计。主要包括信号采集、数字滤波、快速傅立叶变换及校正、系统报警和液晶显示五个功能模块。在信号采集模块中，完成了模拟信号到数字信号的转换及采集；在数字滤波模块中，通过带通滤波算法，去除噪声干扰；在快速傅里叶变换及校正模块中，利用时域基2算法实现快速傅里叶变换，利用比值法实现频谱校正，将泄漏超声与环境噪声区分开，完成泄漏检测；在系统报警模块中，通过对DSP的I/O设置，实现报警控制；在液晶显示模块中，仍通过DSP的I/O控制，对系统泄漏情况给予显示。 本文给出了检漏仪系统设计及实现的全过程。实验结果表明，选择高精度高稳定性的仪表放大器AD620为前端信号处理，降低器件干扰，给后面信号的采集处理减少了困难；通过傅立叶变换及校正进行信号频域分析，可以有效的去除各种外界干扰，将信号检测出来。