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随着科技的快速发展,产品性能不断提高,对于零件加工精度的要求也越来越高,精密加工和超精密加工技术已成为制造技术的研究热点和重要发展方向之一。基于微位移驱动定位系统的分辨率、定位精度和重复定位精度在纳米级的特性,被广泛应用于精密测量,精密加工装配,纳米科学仪器,生物细胞操纵和半导体装备等领域。各国研究人员都在探寻性能更加优越的微位移驱动定位系统,其中压电陶瓷与柔性铰链配合使用的微位移定位系统比较常用。新型压电微角度驱动器以压电陶瓷的推-拉运动为基础,运用新的机械加工材料并结合柔性铰链机构设计而