【摘 要】
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随着微纳科学与技术的发展,以形状尺寸微小或操作尺寸极小为特征的微型机械已成为现代科学技术的一项重要高新技术。许多前沿科学的进步和高新技术的突破来源于微结构加工精
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随着微纳科学与技术的发展,以形状尺寸微小或操作尺寸极小为特征的微型机械已成为现代科学技术的一项重要高新技术。许多前沿科学的进步和高新技术的突破来源于微结构加工精度的提高。目前微型机械加工技术发展迅速,但微型机械驱动技术的相对滞后。因此发展一种简单、易操作的微型机械驱动方式尤其是遥控驱动方式至关重要。磁力驱动是利用磁场实现力或力矩无接触传递的一种驱动方式,在宏观领域亦有广泛应用,但在微型机械领域磁力驱动的研究还处于刚刚起步阶段。本论文围绕微型机械的磁力驱动展开了一系列实验。首先从制备单分散磁性纳米粒子入手,我们用高温分解铁的有机盐的方法,以油酸、油胺作为表面活性剂制备了4nm、6nm的Fe3O4磁性纳米粒子;以6nm粒子为种子通过种子间接生长的方法得到了12nm的Fe3O4磁性纳米粒子。并通过TEM、XRD、VSM等测试手段对纳米粒子进行表征,结果表明纳米粒子表面形貌为球形,尺寸分布均一,在非极性溶剂中呈单分散状态。随后,我们将Fe3O4磁性纳米粒子溶入BMA中,与苯偶酰、Irgacure369、PO3-TMPTA按一定比例混合配制成磁性光刻胶。利用飞秒激光诱导双光子聚合对其进行微纳加工。得到了在磁场中可以运动的微型弹簧、微型涡轮等微型机械,在微型机械的磁力驱动方面做了有益的索。探
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