在近年来,人们在工业生产的等离子体辅助工艺中,在极板上外加偏压得到了广泛地应用。以此可以获取更高的离子轰击能量,并且可以用此方法来实现独立控制离子能量和等离子体密度,所以等离子体放电中的外加偏压受到了广泛地关注。为了更全面及深入地对强电磁场下的等离子体特性受外加偏压有何影响作出研究,本文通过COMSOL软件来仿真以及采用朗缪尔探针诊断技术进行实验对放电进行了定点以及轴向的测量,并对比了仿真与实验的结果。在直流放电中,考察了在不同的放电气压,放电电压以及偏压大小,对等离子体的参数的影响。而在射频感应耦合等离子体放电中,考察了在不同天线功率,不同气压,不同外加偏压下,定点与轴向的等离子体参数的变化。尽管实验与仿真有少部分出入,但是对于等离子体辅助工艺中的研究意义还是重大的。在本文中,对直流放电的特性综合仿真与实验得出:(1)在80Pa之前,光子数与电子密度也随着气压的升高而升高,而气压大于80Pa之后,光子数与电子密度随着气压的升高而减小。(2)放电电压越大,电子密度越高,电子温度越大,这是偏压对电子有加速作用的原因。(3)轴向测量中等离子体的电子密度分布,从偏压极板到接地极板之间是先升高后减小,峰值靠近阴极附近。(4)外加偏压提高了等离子体密度的均匀性和放电范围,因为偏压增加并且拉高了直流放电中的电子。对射频感应耦合等离子体中的放电特性对比仿真与实验的总结为:(1)天线的功率的增加,增加了放电产生等离子体的吸收功率,从而增加了等离子体密度;同样,等离子体的电子温度也随射频功率的升高而升高。(2)等离子体的电子密度随着腔内气压的增加而增加,当气压增加到150Pa时,电子密度随着气压的增加反而减小。(3)轴向测量与仿真表示,等离子体的电子密度分布从石英窗到基板是先升高后降低,峰值在石英窗与基底之间的某处,增加正偏压后,等离子体的电子密度和电子温度升高,基片电流随着正偏压的升高而升高,而加入负偏压的现象与正偏压现象相反。