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随着精密和超精密制造技术水平的不断提高,对表面形貌测量技术的要求也越来越高。杠杆触针式表面形貌测量仪器动态响应快,测量分辨率高,结构简单。但杠杆结构会给测量结果带来非线性误差,影响测量精度。为此,本文采用了一种触针轴垂直运动并在垂直方向上进行计量的气浮支承式触针测量方法,改变了杠杆式触针的测量结构,可用于高精度的表面形貌测量。本文的主要研究工作如下:1、研究了气浮支承式触针测量理论和方法,设计了一种基于气浮支承式触针测量结构。建立了支承式触针测量系统的运动模型,研究了测量系统运动质量、固有频率、阻尼