在Ti6A14V(TC4)合金表面制备具有生物活性的磷灰石(FHA)涂层,可以将金属良好的机械性能与生物陶瓷良好的生物活性结合在一起,而采用含氟的羟基磷灰石做涂层,则可以有效解决羟基磷灰石薄膜溶解率高的问题。本文采用无机、有机法制备含氟羟基磷灰石粉末,并以获得的粉末为原料制作靶材,用脉冲激光沉积技术制备FHA薄膜。主要研究了沉积参数、氟含量和后续热处理对薄膜的组织结构和性能的影响。得到以下结果：无机法可以制备出无杂质相、结晶度好的FHA粉末,但其热稳定性较差,靶材烧结后部分分解为白磷钙石。有机法制得FHA粉末物相较纯净,氟离子进入磷灰石结构与OH键合,热稳定性好,可用于靶材的制备。随着沉积气氛压强的增大,薄膜均一性增强,表面颗粒增多,导致了表面粗糙度的增大；薄膜中的Ca/P原子比随着压强的增大而减小,趋近于理论值；随着压强的增大,薄膜的物相组成由非晶逐步转变成结晶高的薄膜。基片温度升高有助于获得结晶度更好的FHA薄膜,但当温度升至700℃时会部分分解产生CaO；同时,随着基片温度的升高,薄膜表面疏松,磷的烧蚀加剧,Ca/P原子比更偏离理论值。靶基距的减小有助于获得厚度更大的薄膜,薄膜表面的颗粒和粗糙度也随之增加；薄膜的Ca/P原子比随靶基距的减小而增大；靶基距为55mm和68mm沉积的薄膜均有较好的结晶度,靶基距的减小促进薄膜结晶度的提高,同时也使基片的氧化更严重。对沉积后的薄膜进行后续热处理可以提高薄膜结晶度,但过高温度易导致部分FHA分解并在薄膜中引入裂纹。真空腔内原位退火可以在提高结晶度的同时避免产生裂纹,但其氧化就严重。氟的引入可以减少薄膜表面颗粒的数量,降低薄膜表面粗糙度。随氟含量的增加,薄膜的Ca/P原子比和结晶度增加。