大口径非球面精磨表面形状检测技术研究

来源 :中国科学院光电技术研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangzb5
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该文针对上述大口径非球面加工与检测的特点和难点,提出了一种定量检测大口径非球面精磨阶段面形误差的方法.利用机械接触式装置,通过长导轨、精密转台及光栅微位移传感器探头的高度变化来直接测量非球面的矢高,并把所测得的三维数据传输给计算机.经数据预处理和系统误差修正后,进行Zernike多项式拟合,拟合出实际加工的面形误差图,从而求出非球面的面形误差函数,Zernike多项式的系数,从而得到非球面的各种象差系数,其结果用来指导大口径非球面的精磨加工.利用此方法可以检测非球面任意截面和孔径,在加工的过程中,测量非球面的某一截面来检测非球面的加工情况,在终检时,采集整个非球面的三维数据,得到全孔径的面形质量.这种方法直观、成本低廉、操作简单,经过实验表明,此方法检测的结果与哈特曼检验的面形误差结果基本上是一致的,能满足大口径非球面精磨阶段的精度要求.该测量装置的成功使用,为大口径非球面形测量奠定了基础,解决了精磨面形测量定量测量难题,对大口径非球面加工制造技术的发展具有重要意义.
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