太赫兹光谱探测技术能够迅速地对样品组成的细微变化作出分析和鉴别,但是对于微量物质,由于传感波长(几百微米)与被测物的尺寸(纳米级)间有着巨大差异,太赫兹光谱探测技术的灵敏度将会有所下降。频率选择表面(FSS)是由周期性排列的金属贴片单元或金属屏上相同的缝隙单元所构成的一种二维周期阵列结构,频响特性曲线中会出现一个随加载介质的改变而发生漂移的共振峰,因此可将其应用于太赫兹光谱探测技术以提高其测量微量物质时的灵敏度。本文以提高太赫兹波段微量物质测量灵敏度为目的,设计了开口式单元FSS结构,分别以圆环单元、方环单元和六边环单元为基础,研究了单元结构参数和排列方式等对其频响特性及太赫兹光谱探测灵敏度的影响,根据其变化规律分析物理机制,从而设计基于FSS的高灵敏太赫兹传感器。结果显示：对于这三种单元,当样品覆盖面积为单元面积1/64时灵敏度最高。