随着微技术的发展，MEMS加工系统逐渐进入到我们的生活之中，人们以MEMS系统视角重新对微观世界进行认识，并同时对其进行新的改造。准分子激光刻蚀技术在新型的生物芯片微技术中，为MEMS加工系统打开了新的视野。在传统微细加工中如果采用数控机床技术，会因为它的体积大，夹持工具繁重，而难以获得很高的加工效率与操作精度。本文主要是通过利用显微镜同轴观测定位，结合准分子激光加工刻蚀技术、计算机接口控制技术、硬件平台控制技术、以及图像处理技术等多种技术进行了比较详细的讨论。本文首先调研了国内外MEMS技术的研究状况，讨论了同轴加工目前的应用领域，分析了微视觉主要采用的图像处理方法。对本系统需要的系统结构做了分析研究之后，展开了逐项讨论，同时实现硬件、软件的设计和搭建。本文基于计算机串口通信对单片机进行控制，以STC90c516RD+单片机为硬件控制平台，实现了对微平台XY轴的精准运动控制。此外，对显微镜进行了镜片改造。并对准分子激光进行了进一步的对焦测试。对图像处理的算法选择进行了逐一分析比对，并从多种算法中选取适合本实验的最优算法系统。文章最后利用WINDOWS和VisualC++作为控制软件的开发平台，对整个准分子加工系统可视化软件进行了代码编写；设计了一套符合准分子激光微加工应用的同轴观测加工自动跟踪系统。