【摘 要】
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该文通过朗缪尔探针、法位第筒及等离子体发光光谱诊断对ECR等离子体特性进行了实验研究.(1)发现了一个与ECR共振层位置有关的等离子体不稳定性现象,并确定适合PACVD工艺的磁
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该文通过朗缪尔探针、法位第筒及等离子体发光光谱诊断对ECR等离子体特性进行了实验研究.(1)发现了一个与ECR共振层位置有关的等离子体不稳定性现象,并确定适合PACVD工艺的磁场峰值范围为960G~1000G;(2)探索了在沉膜室中央附近等离子体参量与微波功率及工作气压的关系,发现在850W的微波功率及0.2Pa的气压下,该位置具有稳定的高密度等离子体;(3)测量了该工作点的离子密度、电子温度、等离子体势及悬浮电势等参量,以及等离子体参量在该位置的均匀区域.较高的离子密度(~2×10<11>cm<-3>)、较低的等离子体势(~9eV)及较大面积(半径为8cm)的均匀区域非常适合在等离子体辅助沉积晶体薄膜中的应用.
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