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伴随空间光学的快速发展,非球面光学元件以其优越的光学性能、紧凑的结构等特点正越来越多的广泛应用于现代科技领域,要求必须寻找一种能够实现快速、批量生产非球面的制造技术。与此同时,现代微电子技术和光学技术的发展对光学元件质量提出了越来越高的要求;光学元件为了获取极高的反射度值,要求表面粗糙度低于纳米级别。传统机械加工方式属于应力加工,会破坏工件表面晶格完整性并引入残余应力,难以满足超光滑表面的需求。CNC数控技术己经能够实现光学非球面元件的精密快速铣磨成型,然而,非球面抛光仍是影响非球面加工效率和精度的