国内外传感器及其控制技术的发展强调以下几方面的创新：利用新的理论、新的硬件研究开发工程和科技发展迫切需求的多种新型传感器、传感技术系统以及控制器；着重传感器与传感技术硬件系统与元器件的微小型化。利用集成电路微小型化技术，从传感技术硬件系统的微小型化中提高其可靠性、质量、处理速度和生产率，从而降低成本，节约资源与能源，减少对环境的污染。 在该指导思想下，本文重点对压电陶瓷驱动下的微位移机构进行了深入的研究，攻克了不少关键技术，例如：柔性铰链的微位移进给机构的设计、静态刚度分析，运动机构的系统仿真，运动误差的分析，系统的实验构成以及系统分析评价等；同时，对于以单片机为控制平台的微位移开环、闭环控制系统进行了系统研究，研制了一套高压放大驱动器，自主独立开发和设计了一套用于控制压电陶瓷的单片机及其扩展控制电路，主要包括D/A转换电路、A/D采样电路、RS232通讯电路以及LED显示电路等。在完成大量硬件研制之后，针对压电陶瓷的特性与硬件电路，以模块化思想设计了相应的开环以及闭环单片机控制系统，编制了单片机外围电路控制程序、单片机控制压电陶瓷驱动的开环以及闭环程序，并且进行了大量实验。实验结果表明，所设计的单片机控制系统具有低成本，精度较高的特点，可实现工作平台的快速精密定位。 综上所述：本文在开发用于驱动压电陶瓷的高压放大驱动器以及研制激光位移传感器检测下的由单片机控制的压电微位移闭环控制系统上，具有一定的创新性。