随着各领域智能化与自动化程度的不断提高,直线位移传感器在机械制造、航空航天、石油化工等领域都起着重要作用。其中电磁感应式直线位移传感器由于具有较高的可靠性与较强的抗干扰能力等诸多优势,被广泛应用于各领域。现有的电磁感应式直线位移传感器大都为单边传感结构,即动尺只在定尺的一侧安装,如直线式感应同步器、直线磁栅传感器、AMO钢栅尺、Zettlex LinTran编码器、POSIC直线编码器等,故传感器的测量性能难免受传感器定尺与动尺间的间隙变化、平行度差等安装因素的影响。因此,为了提高和保证传感器的测量性能,单边传感器结构的传感器对安装与动尺运行轨迹的要求往往较为苛刻。鉴于此现状,本文开展了双边传感型电磁感应式直线位移测量方法的研究,并结合直线位移传感器的绝对式原理开展了双边传感型电磁感应式绝对直线位移传感器的研究。本文主要研究内容如下:(1)基于电磁感应式直线时栅位移传感器测量原理,提出一种双边传感型电磁感应式直线位移测量方法,并就该测量方法对动尺与定尺间间隙及平行度引起的测量误差的抑制作用进行研究。(2)对所提出的双边传感型直线位移测量方法及该方法对动尺与定尺间间隙及平行度引起的测量误差的抑制作用进行仿真验证,并设计双边传感型电磁感应式绝对直线位移传感器结构。(3)开展传感器实验中电气系统的设计工作及传感器样机的研制工作,并搭建样机实验所需的实验平台。进行对比实验得到测量性能较优传感器样机,然后对该传感器样机的测量误差来源进行分析。经过分析发现传感器样机具有较大的二次误差与四次误差。(4)根据对传感器误差来源的分析,改进传感器的动定尺结构,并设计移相电路以减小传感器的测量误差。在误差修正后,传感器在一个重复周期内的测量误差小于13?m,在0mm~288mm范围内测量误差小于20?m。