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NdFeB永磁体具有优异的磁学性能和商业价值,广泛的应用于电子、信息、通信等多个行业。而NdFeB永磁薄膜是现在永磁体薄膜领域的研究热点,具有潜在的巨大经济和学术意义。但由于工艺等方面的不完善,实际磁性能与理论值仍然存在很大差距。本论文首先对近年来稀土永磁薄膜的发展做了简单的介绍,包括关于薄膜制备、退火等各个方面。本论文采用直流磁控溅射方法制备NdFeB永磁薄膜。首先采用多种不同的溅射参数制备薄膜,利用扫描电镜(SEM)分析了不同的溅射功率,氩气分压等参数对薄膜组织形貌的影响;其