该文根据等离子体刻蚀中产生的废气定量分析的特殊条件,提出了电感耦合等离子体原子发射光谱检测方法来定量分析废气中的有害成份.该文首先讨论了等离子体原子发射光谱定量分析方法的原理.然后论述了实验系统的各部分组成及其工作原理.最后利用实验系统进行了大量的实验.另外,还对系统对废气的净化效果作了一定的研究.等离子体原子发射光谱定量分析的原理是依据谱线强度的方程.该方程表明波长确定的某条谱线,其强度与其激发态粒子的总数成正比,与激发温度成正比.对理论方程进行简化后得到经验方程,经验方程表明,在保证激发温度基本不变的条件下,某种元素在一定的浓度范围内,其谱线强度与元素浓度成正比例关系.实验采用了单色仪和光电倍增管以及多通道光谱仪来测量光源的光谱信息.通过比较,多通道光谱仪可以在同一时间获取一段波长范围内的光谱,所以提高了光谱测量的速度,使得适时监控反应室对废气的净化效果成为可能.在光谱数据的处理上,采用了五点三次平滑和多项式拟合等算法,从而进一步减小随机误差和测量误差对结果的影响.这些算法的执行均由计算机来完成,最终得到了较理想的光谱-流量校准曲线.根据实验,氟元素的312.8nm的谱线为其分析线,一氧化碳482.6nm处的谱线为其分析线.在射频功率0.6KW下,利用单色仪求并分别在这两个波长的谱线上求得氟元素的光谱-流量校准曲线,以及一氧化碳的光谱-流量校准曲线.根据这些曲线,在同样的系统参数下,可以定量分析氟元素和一氧化碳的流量.另外,利用多通道光谱仪在射频功率0.35KW下,求得另一组氟元素的光谱-流量校准曲线.该文对系统的净化效果作了研究.系统的净化主要是依靠氧化钙粉末在反应室中的净化作用.氧化钙粉末可能有效地净化反应室中处于等离子体状态的混合气体.根据实验可知,在反应室中放入25克氧化钙粉末,在射频功率为0.6KW时,废气中氟被净化掉72.22﹪,一氧化碳被净化掉55.70﹪;当氧化钙粉末增加到40克时,在同样的系统参数下,废气中氟被净化掉86.57﹪,一氧化碳被净化掉75.95﹪,所以增加氧化钙和混合气体的接触面积和接触时间,就能够提高净化效果,使得排入大气的废气中的有害成份减少到标准值.利用多通道光谱仪得到氧化钙的净化效果与利用单色仪得到的结论基本一致.