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孔径测量是几何量测量中一项重要和困难的内容,当前对于外尺寸及平面尺寸测量方面已经达到1n m乃至0 .1nm很高的分辨率,然而对内尺寸的测量却远远落在后面。目前国际上对于小孔、小斜孔、盲孔等任意截面尺寸及形状误差的高精度测量是微小内尺寸领域内一项亟待解决的问题。基于此现状,通过综合调研国内外小孔径测量方法,本文提出一种新型非接触测量方法—电容式电子塞规法,以电容式测孔传感器为核心测量元件,开发一套适用于小孔径(直径小于?1 0mm的通孔、盲孔、深孔、斜孔等)、高纵深比(高达10 ~20)、任