太赫兹SAR继承了传统微波SAR远距离探测、全天时探测、全天候探测的优点,并能实现更高分辨率成像,获得成像场景中更丰富、更细节的信息,在国防军事和民生国力方面均有更加广泛的应用。然而清晰高质量的SAR图像依赖于完全理想的运动条件,实际中却不可避免地存在运动误差,太赫兹SAR成像中需要考虑的运动误差更复杂,对运动补偿的精度要求更高。因此,本文针对太赫兹高分辨率成像运动补偿中的问题开展相关研究。首先,本文从太赫兹SAR成像的基本原理开始,指明雷达和目标之间的相对运动不可缺少并且运动误差不可避免,凸显运动补偿的必要性。在介绍去线性调频基本理论与实现过程的基础上,分析了距离多普勒（Range Doppler,RD）和极坐标格式算法（Polar Format Algorithm,PFA）两种经典算法分别应用于条带和圆周聚束两种经典模式下的成像原理和流程。并对运动误差、相位误差、运动补偿方式的几种重要类别进行了简要概述。其次,针对传统微波SAR中可以忽略而太赫兹SAR成像中需要特殊处理的高频振动误差,本文以条带模式为例,在推导和验证其影响的基础上分别建立了单分量及多分量谐波叠加的数学模型,给出了基于离散正弦调频变换（Discrete Sinusoid Frequency Modulation Transform,DSFMT）的单分量高频振动参数估计方法以及基于正弦调频傅里叶变换（Sinusoidal Frequency Modulation Fourier Transform,SFMFT）的多分量参数估计方法,并用估计值构造相位因子,在距离压缩之后、方位处理之前实现补偿。此外,考虑到对太赫兹条带SAR中很难建立模型的运动误差的补偿,本文给出了基于最小化图像熵的非参数化补偿方法。通过仿真实验证实了以上方法的有效性。最后,针对太赫兹圆周SAR常用PFA算法中插值操作引入的非系统距离单元徙动（Non-systematic Range Cell Migration,NsRCM）现象以及不可忽略的相位误差空变性问题,本文使用CZT变换代替插值,在很大程度上避免NsRCM,并给出一种空变误差的解决方案,通过简化相位误差得到场景范围的一维划分数值,再利用与残余二次相位误差互为共轭的全通系统进行逐列补偿。该方案的有效性结合仿真结果进行了验证。