加速度计是军事、航天和民用科技领域十分重要的电子元件。差分电容式MEMS加速度计具有结构简单、低温度系数、宽频响特性、高灵敏度、低功耗、低噪声、低成本等显著优点。加速度计读出电路是加速度计系统的重要组成部分之一。加速度计读出电路由于工艺误差和不同应用等原因,需要偏差校正数据和参数设定数据。　　 本文给出一种用于MEMS加速度计读出电路的EEPROM设计。该EEPROM电路模块嵌入到读出电路中,实现了加速度计偏差校正数据和参数设定数据的写入和存储,减少了芯片面积和压点数目,简化了用户界面。　　 本设计具有下列功能和创新点:实现偏差校正数据和设定数据的串行输入并写入EEPROM中,然后送出到加速度计读出电路中及数据校验电路中。具有上电自启动功能并能在数据送出后进入低功耗状态。对EEPROM电路的擦除、编程、读出等工作模式进行了状态优化和低功耗设计,使得该电路模块只在芯片上电启动和数据改动时消耗功耗。该EEPROM电路自带电荷泵,无须外界输入高电压。　　 该电路使用0.35gm CMOS EEPROM工艺进行了设计、流片和测试,测试结果表明:能正确的进行25位数据的写入和输出,上电后0.1μs内将数据自动读出送至端口后进入低功耗模式。