【摘 要】
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在工业的生产、加工和制造中，往往需要对制造出来产品尺寸进行精密的测量，以判断生产的产品是否符合要求。如何实现对工业产品快速精确的测量成为了一个重要的研究课题。
针对微波谐振腔内部结构复杂测量部位繁多，并且不同型号的微波谐振腔内部结构不同的问题，本论文设计了一种结合激光三角测距技术和图像传感技术的测量方案，用以实现对微波谐振腔内部结构的高度差进行自动高效的测量。通过分析研究目前国内外实现自动化测量的技术，结合此系统实际的需求，完成器件的选型和测量系统的搭建。
实现了对微波谐振腔扫描位置的
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在工业的生产、加工和制造中，往往需要对制造出来产品尺寸进行精密的测量，以判断生产的产品是否符合要求。如何实现对工业产品快速精确的测量成为了一个重要的研究课题。
针对微波谐振腔内部结构复杂测量部位繁多，并且不同型号的微波谐振腔内部结构不同的问题，本论文设计了一种结合激光三角测距技术和图像传感技术的测量方案，用以实现对微波谐振腔内部结构的高度差进行自动高效的测量。通过分析研究目前国内外实现自动化测量的技术，结合此系统实际的需求，完成器件的选型和测量系统的搭建。
实现了对微波谐振腔扫描位置的机台定位方案，使微波谐振腔设计图上选取的扫描点转换为机台上对应的扫描坐标，从而使激光三角测距仪扫描到对应的位置进行测量。
对测量系统的精度进行了分析，测量精度可达0.135%。完成了对不同微波谐振腔内部143个测量点的自动化测量，分析了测量结果的稳定性，并且根据分析的数据对激光扫描路径进行了优化，使测量结果的稳定性得到了提升，扩展不确定度在40μm以内的测量位置个数达到了83.9%以上。对于单个微波谐振腔的测量时间在10分钟以内，相比于人工测量时间缩短了8倍，实现了高效率测量。
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