被动活塞式微小气体流量标是一种对微小气体流量计的气体流量动态性能进行校准的标定装置。由于活塞缸内气体的特性极易受到外界温度与大气压力的影响,对于气体动态性能标定装置的研究一直是个比较有难度的问题。此外在当前微小气体流量动态性能检测方面的认知大多集中于理论研究,对微小气体流量计进行准确校准的标定装置相对较少,这也限制了对微小气体流量的综合指标进行评定。因此研制了一台被动活塞式微小气体流量标定装置。具体研究内容如下:(1)对国内外有关微小气体流量标定装置的研究现状进行梳理及探讨,基于标定装置的工作原理制定总体的方案设计。(2)运用流体力学计算方法,基于Fluent仿真软件对活塞缸体内部动态特性进行仿真,对装置的可行性进行验证。(3)以DSP(Digital signal processor)作为控制系统的控制器;采用LabVIEW实现上位机实时监控、数据显示和报表的生成;结合实验研究与装置不确定度的分析,验证装置的可靠性。实验研究结果表明,装置在运行过程中活塞缸入口处的温度、活塞缸内气体的压力变化以及光电开关的计时值均稳定,装置在流量检测范围(50~8245)sccm时的扩展不确定度优于0.5%(k=2)。