微小气体流量相关论文
气体流量标准装置是一种能够对流量进行量值传递与溯源的设备。它通常用于评定气体流量测量仪表的流量技术指标以及测量特性,从而......
针对活塞缸自身结构特点对测量器具的限制,提出了三坐标测量机测量活塞缸内径的方法.以名义内径为19 mm、45 mm、140 mm的活塞缸为......
为解决层流流量计(LFM)线性度不佳的问题,提出了一种微小缝隙式LFM,并介绍了层流流量计的测量原理、结构设计及参数计算.对一台设......
通过实验的方法研究了粒径在1 μm以下的不锈钢金属颗粒烧结成的流导元件特性.该种形式流导在上游压力为10kPa下即可进入分子流区......
本文介绍一种最新开发出的超灵敏硅压敏流量计,用于薄膜工艺中测量微小气体流量.它利用电容压敏器来测量和控制流量,其制造工艺简......
被动活塞式微小气体流量标是一种对微小气体流量计的气体流量动态性能进行校准的标定装置。由于活塞缸内气体的特性极易受到外界温......
活塞式气体流量标准装置是一种可用于直接测量气体流量的容积式原级标准装置,因具有工作稳定可靠、精度高、工作压力可调、检定效率......
音速喷嘴是世界各国广泛使用的传递标准,具有结构简单、无可动部件、精度高、重复性好等优良特性,使之在气体流量计量领域中占据了......
本文设计了一种基于活塞间隙的微小流导结构,流导数值可调,采用实验的方法研究了微小流导的压力特性、温度特性及调节重复性。讨论......