【摘 要】
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航空航天、深海探测及生物医学等领域的发展，越来越需要采用液压阀实现对微流体的控制。传统的电磁力矩马达驱动式的控制阀体积大、结构复杂、精度低，难以满足精密控制的需要；减小气蚀破坏是研究控制阀的重点之一，常用的措施是选用新型工程材料或采用新型结构，然而，这些措施不仅增加了制造成本，还降低了阀的工艺性能，使阀的结构更加复杂。本文基于压电陶瓷驱动器和金属橡胶材料提出了一种新型结构的压电驱动精密流量阀。利用
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航空航天、深海探测及生物医学等领域的发展，越来越需要采用液压阀实现对微流体的控制。传统的电磁力矩马达驱动式的控制阀体积大、结构复杂、精度低，难以满足精密控制的需要；减小气蚀破坏是研究控制阀的重点之一，常用的措施是选用新型工程材料或采用新型结构，然而，这些措施不仅增加了制造成本，还降低了阀的工艺性能，使阀的结构更加复杂。本文基于压电陶瓷驱动器和金属橡胶材料提出了一种新型结构的压电驱动精密流量阀。利用压电陶瓷驱动器的高位移分辨率特性实现对流量阀的精密控制，利用金属橡胶的节流减压特性可以有效减小节
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