随着信息技术、生物技术、超精密加工技术的发展,对其所需的加工设备也提出更高的要求。宏微驱动超精密进给系统逐渐成为研究的新趋势,尤其在对加工精度要求高、行程要求大的加工领域,宏微驱动进给系统体现出其独特的优点。因此大行程宏微驱动进给系统的研究为解决当今精密、超精密加工提供了切实可行的解决方案。本文通过对国内外的宏微驱动系统的研究现状的分析,提出了一种双层的宏微驱动超精密进给系统。在确定整体结构方案的基础上,首先进行了微进给机构的设计。通过对微进给机构的传动和导向机构的研究和分析后,根据弹性铰链的结构特性确定了微进给机构的传动和导向机构的布局,进而进行了弹性铰链具体参数的设计和分析,并对设计的微进给机构进行了应力应变仿真分析。本文根据宏微驱动系统的实际工作状况,设计了全载荷微进给平台。在总结已设计的弹性铰链机构的基础上,对弹性铰链的设计进行了优化,并提出了全载荷微进给机构的传动导向布局,并且根据实际工作中的受载荷状况进行了仿真分析。本文最后完成了宏微驱动系统的搭建,包括宏微驱动装置的选用和原理分析,检测反馈装置的设计和原理分析,并对实验中所需的力传感器进行了标定实验。完成了大行程超精密宏微进给系统的部分实验。