作为实现信道频谱分配的关键无源器件,微波滤波器在无线通信等领域发挥着极其重要的作用。现代无线通信技术的快速发展使无线电频谱资源显得相对稀缺,人类社会对于通信设备提出了更加严苛的要求,如小型化、集成化、高性能、低成本等。因此,实现体积小、重量轻、易加工、成本低、品质因数高且易于集成的无源滤波器,业已成为当前微波技术领域的研究热点。本文在总结国内外微波滤波器及RF MEMS滤波器研究和发展状况的基础上,从带通滤波器的设计原理出发,提出系统的总体解决方案,包括采用带状线交指结构实现滤波、开路端SIR实现结构紧凑的准叉指带通滤波器、接地共平面波导实现输入输出、硅基MEMS技术等。对性能和结构参数各异的滤波器进行分析和设计,并采用三维电磁仿真软件CST对滤波器进行模拟仿真。根据器件结构绘制版图制造掩膜版,在对关键工艺进行单项实验验证的基础上整合出完整的CMOS-MEMS兼容的工艺流程,经过多次工艺流片,实现了制作在高阻硅衬底上的MEMS带通滤波器芯片:双层400μm厚的n型(100)4英寸硅晶圆通过金金键合,DRIE刻蚀获得垂直通孔阵列,上下表面通过Au金属化实现接地。本文完成了滤波器的设计、仿真、制备和测试流程,通过测试结果与仿真结果的比较分析,验证了基于带状线交指结构的滤波器设计方法和MEMS工艺技术的可靠性。