【摘 要】
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玻璃、陶瓷等脆性非导电材料具有超硬、耐磨、电阻率高、导热性能好等特点,在MEMS中的应用越来越广泛。电解电火花复合加工作为一种特种加工工艺,可以在不接触的情况下去除工件
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玻璃、陶瓷等脆性非导电材料具有超硬、耐磨、电阻率高、导热性能好等特点,在MEMS中的应用越来越广泛。电解电火花复合加工作为一种特种加工工艺,可以在不接触的情况下去除工件材料,没有宏观的切削力,加工脆性非导电材料可以获得较高的表面质量。本文主要研究了电解电火花复合加工方法的加工机理,通过微结构加工实验分析该方法加工硬脆非导电材料的可行性。主要研究内容如下:(1)介绍电解电火花复合加工的原理、特点,根据电解电火花复合加工的加工机理,设计具体的实验方案,主要包括基础工艺实验和铣削工艺实验。(2)针对实验设计方案搭建实验平台,完成了工作台的连接和调试,控制系统的设计和控制软件的编程,电极夹具和工件夹具的设计与制作等。(3)针对不同加工电压、工作液浓度和工具材料设计工艺实验方案,通过对打孔实验结果的分析,研究电解电火花复合加工脆性非导电材料的加工机理;通过不同条件下的实验结果分析得出加工电压、工作液浓度和电极材料对加工表面质量和加工效率的影响规律。(4)通过对玻璃材料的铣削、切割加工分析电解电火花复合加工脆性非导电材料的可行性;对陶瓷、硅片电解电火花复合加工进行初步实验研究。
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